DLC란?
◆ DLC는 Diamond-Like Carbon의 약자, “다이아몬드 유사 탄소 박막“ 의미.
◆ 고경도,내마모성, 내부식성, 내 화학성에 탁월한 성질을 가지고 있습니다.
지금까지 DLC의 application은 고경도를 위한 열처리 대체 기술로 사용되어 왔습니다.
따라서 공구에 활용되어 왔으며 이는 DLC를 한정적으로 이용하고 있는 것으로 점차 범위가 확대 될 것입니다.
모재와 DLC 코팅층의 부착력을 향상시키기 위해서는 DLC 코팅 시 발생하는 잔류응력을 완화 시켜야 합니다.
잔류 응력을 완화 시키기 위해 중간층을 형성하며, 중간층은 각 모재 및 공정에 적합한 층을 맞추어 형성합니다.
중간층으로 사용되는 소재는 대표적으로 Si가 있으며, 이외에도 Ti, W, Cr, Fe 등이 있습니다.
트인로드㈜에서는 부착력 향상을 위해 자체적으로 공정을 개발했습니다.
예시로 Si층을 형성하기 위해 HMDSO를 사용하고 있으며,
HMDSO 유량 조정을 통해 부착력을 극대화하고 있습니다.
